對于浮游生物，臭氧在水中的溶解度達0.5—1ppm時，便能破壞藻類原生動物。對于小型軟體動物，溶解度為2.2 ppm，處理時間為30分鐘左右就能殺死98%的幼蟲。在臭氧注入量為2.2—3ppm時，就能得到50%的殺藻效果。
當臭氧投加量為2.08 mg／l時，對浮游動物的殺滅率達95％以上。當臭氧投加量為4.17 mg／1 時，對浮游動物的殺滅率高達100% 。
2、小型臭氧發生器對浮游植物的作用
當臭氧投加量為1.2mg／l時滅藻率為31—36%，臭氧投加量為2.08mg／1時滅藻率達50%以上，臭氧投加量為4.17mg／1時滅藻率可達89％左右。
3、小型臭氧發生器對不同種類浮游植物的作用
臭氧對不同種類的浮游植物的殺滅作用是不同的，對金藻的殺滅效果最好，硅藻次之，藍綠藻最差。
臭氧對浮游植物的殺滅作用不但與其種類有關，而且還受其絕對數量的直接影響。藻類的絕對數量大，則需臭氧投加量加大。
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